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本申请公开一种上电极组件及半导体工艺设备,上电极组件上电极盖板,所述上电极盖板用于设置在所述反应腔室的顶部开口上;匀流件,所述匀流件为导热结构件,安装于所述上电极盖板,且所述匀流件的至少一部分位于所述上电极盖板朝向所述反应腔室一侧,所述匀流件设有环形容纳槽;接触电极,所述接触电极设置于所述匀流件背离所述上电极盖板的一侧的表面上,且所述环形容纳槽的开口背离所述接触电极设置;加热环,所述加热环设置于所述环形容纳槽内。上述技术方案能够解决因目前接触电极的被加热效果较差,且上电极盖板的温度较高的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114203511 A
(43)申请公布日 2022.03.18
(21)申请号 202111510865.9
(22)申请日 2021.12.10
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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