一种铜及铜合金表面粗化蚀刻液及其制备方法与应用.pdfVIP

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2023-04-28 发布于北京
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一种铜及铜合金表面粗化蚀刻液及其制备方法与应用.pdf

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本发明提供一种铜及铜合金表面粗化蚀刻液及其制备方法与应用。所述铜及铜合金表面粗化蚀刻液由以下原料组成：硫酸7‑25％，双氧水3‑9％，缓蚀剂0.7％‑1.5％，卤化盐0.003‑0.006％，有机酸类化合物0.01‑2％，有机溶剂0.1‑1％，余量为去离子水。所述铜及铜合金表面粗化蚀刻液能够使得蚀刻后的电镀铜面呈均匀的蜂窝状结构，表面无针孔或针孔数量很少，大大提高蚀刻良品率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114182258 A (43)申请公布日 2022.03.15 (21)申请号 202111496287.8 (22)申请日 2021.12.09 (71)申请人上海天承化学有限公司