一种导电金属氧化物靶材制备工艺.pdfVIP

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2023-04-28 发布于北京
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一种导电金属氧化物靶材制备工艺.pdf

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本发明一种导电金属氧化物靶材制备工艺，所述工艺步骤为：步骤1、选料：准备好Zn锭和Sn锭；步骤2、融化：Zn锭和Sn锭加热升温至400‑500℃融化，并采用电磁搅拌技术搅拌1‑2小时；步骤3、金属雾化：采用金属雾化工艺将步骤2中的熔融的金属合金制备成粉末状颗粒，粉末状颗为表面为氧化锌锡涂层、中心为ZnSn合金的球形颗粒；步骤4、筛分：从步骤3中的粉末状颗粒筛选出粒径为40~120um的球形颗粒作为粉料；步骤5、喷涂：采用等离子喷涂工艺，将步骤4中的粉料喷涂形成靶材。本发明一种导电金属氧化物靶材制

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114182222 A (43)申请公布日 2022.03.15 (21)申请号 202111292657.6 B22F 1/16 (2022.01) (22)申请日 20