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本发明涉及一种MEMS封装方法,包括如下步骤:将芯片组贴装于基板上,烘烤后通过键合方式将金线连接于芯片组和基板之间;将锡膏点涂在基板四周的铜箔上,并将封装壳体盖设于所述基板的锡膏上,通过回流焊融化所述锡膏,使封装壳体与基板焊接;将封装壳体顶面的上表面贴合于放有环氧树脂的倒装模具,加热后,环氧树脂通过小孔挤入封装壳体的腔体内并堵住小孔;将产品进行固化,使得封装壳体的腔体内以及小孔内的环氧树脂固化;根据需求在产品上进行激光印字;利用切割机将产品切割成单颗成品。本方法在达到封堵小孔目的的同时,既不会增
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114195091 A
(43)申请公布日 2022.03.18
(21)申请号 202111444955.2
(22)申请日 2021.11.30
(71)申请人 苏州固锝电子股份有限公司
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