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本发明涉及一种MEMS封装载板的制作方法,包括以下步骤开料与烘烤、顶层线路、镭射开窗、镭射钻孔及填孔、底层线路、阻焊、电镀镍金和电金后处理,通过该一系列工艺,最终得到封装载板,该封装载板采用一种全新的电金引线导通工艺,即由产品顶面镭射通孔至底面,利用通孔导通底面的电金引线,电金引线上设有光学点及“+”Mark,从而有效地控制了底面光学点及“+”Mark的镍厚并使其外观不变形,镍厚控制在10μm以内达到了客户的要求,便于SMD打件时CCD识别定位。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114206024 A
(43)申请公布日 2022.03.18
(21)申请号 202111300264.5
(22)申请日 2021.11.04
(71)申请人 江苏普诺威电子股份有限公司
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