基于固支梁结构的双晶压电式MEMS麦克风.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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基于固支梁结构的双晶压电式MEMS麦克风.pdf

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本发明公开了一种基于固支梁结构的双晶压电式MEMS麦克风，包括具有空腔的基底；正对空腔设置的压电振膜，压电振膜采用多根固支梁结合的结构，即梁的两端均固定在衬底上，梁的中心均处于同一位置；正对压电振膜设置的接收膜，接收膜与压电振膜之间采用介质层连接；固支梁型压电振膜将电极划分为四个区域，采用有序的电连接方式，将各固支梁串联起来；电极分为顶部电极、中部电极和底部电极，顶部电极和底部电极均只有一层，中部电极由两层电极组成。本发明采用了接收膜的结构以解决固支梁结构之间的大间隙所带来的低频响应问题，并且采

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114222231 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111505684.7 (22)申请日 2021.12.10 (71)申请人武汉大学地址 43