一种适用于MEMS模态局部化传感器的环状耦合系统.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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一种适用于MEMS模态局部化传感器的环状耦合系统.pdf

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本发明涉及一种适用于MEMS模态局部化传感器的环状耦合系统，属于MEMS传感器领域。系统主要结构包括：环状耦合梁203，耦合刚度调节电极205、206。所述环状耦合梁是圆环、正方环、矩环或者其他封闭结构；所述环状耦合梁203通过连接两个谐振梁201、202实现机械耦合。相较于传统的机械耦合梁，本发明可以使耦合梁对侧向刻蚀的敏感程度大幅度降低，在加工精度水平不变的情况下可以进一步提高传感器的稳定性和一致性；同时设计了针对所述环状耦合梁的耦合刚度调节电极，通过调节耦合刚度调节电极的电势产生与环状耦合

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114217093 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111236440.3 (22)申请日 2021.10.23 (66)本国优先权数据 2021106