一种碳基多端仿生突触器件及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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一种碳基多端仿生突触器件及其制备方法.pdf

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本发明一种碳基多端仿生突触器件及其制备方法，该仿生突触器件从下至上包括衬底、导电层及电介质层，所述电介质层的上表面分别设有第一栅电极、第二栅电极、源电极及漏电极，源电极和漏电极通过半导体沟道相连接，所述导电层包括从下至上设置的金属导电层和半导体导电层。该制备方法包括：在衬底的一表面沉积金属导电层；在得到的金属导电层上形成半导体导电层；在得到的基底上形成电介质层；在得到的电介质层上显影出栅电极、源电极和漏电极图案，将电极金属材料沉积在栅电极、源电极和漏电极图案上形成栅电极、源电极和漏电极；在得到的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114220861 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111528367.7 H01L 29/423 (2006.01)