一种超细氮化铜粉体的制备方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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一种超细氮化铜粉体的制备方法.pdf

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本发明公开了一种超细氮化铜粉体的制备方法，包括：构建至少一层支撑层和设于所述支撑层上的至少一层牺牲层，牺牲层被配置为可通过外界条件改变而改性；在所述牺牲层上培育薄膜并使其生长；改变外界条件使所述牺牲层改性并得到单独薄膜。通过构建至少一层支撑层和至少一层牺牲层，并通过改变外界条件使得牺牲层失效，使得薄膜和支撑层脱离，得到独立的薄膜，此结构对于薄膜分离、转移具有很好的应用价值，能够为集成电路、芯片制造中难以剥离的薄膜提供了一种简单便捷的薄膜分离方式。可以广泛应用于集成电路、芯片制造以及薄膜产品制造的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114212760 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111472052.5 B82Y 40/00 (2011.01) (22)申请日 2