一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台.pdf

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本发明属于三维原子探针设备领域，具体的说是一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台，包括固定器；所述固定器顶端固定连接有圆盘，所述圆盘的顶端固定安装有铜夹子，所述固定器的顶端放置有转移台本体，所述转移台本体的一侧呈弧形，所述转移台本体的顶端开设有凹槽，所述转移台本体的一侧螺纹连接有丝杆；通过使用镊子将硅片安放到凹槽内，然后将转移台本体安放到固定器上，并且让转移台本体的弧形面与圆盘贴合，此时凹槽会与铜夹子处于同一水平面，然后转动丝杆，使得丝杆带动推板进行滑动，从而使推板推动凹槽内的硅片，此时硅片会借助

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114217098 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111528433.0 (22)申请日 2021.12.14 (71)申请人南京理工大学地址