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本发明公开了一种二价金属离子掺杂的β‑Ga2O3晶体的助熔剂体系及基于该助熔剂体系的晶体生长方法。本发明采用铋氧化物‑碱金属氟化物体系为Ni2+、Cu2+、Zn2+等二价离子掺杂β‑Ga2O3晶体生长的助熔剂,体系中铋氧化物和碱金属氟化物的摩尔比为(0.8~0.75):(0~0.1)。本发明采用铋氧化物‑碱金属氟化物体系为助溶体系,该体系能够在900~1280℃下完全熔融原料中的Ga2O3和金属氧化物,在本发明的工艺条件下,最终能够生长出晶体尺寸可控、成分均一的高质量的Ni2+、Cu2+、Zn2
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114214720 A
(43)申请公布日 2022.03.22
(21)申请号 202111535091.5
(22)申请日 2021.12.15
(71)申请人 上海应用技术
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