一种沉积均匀的磁控管及其设计方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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一种沉积均匀的磁控管及其设计方法.pdf

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本发明公开了一种沉积均匀的磁控管，包括外磁极磁铁和内磁极磁铁，且外磁极磁铁和内磁极磁铁磁极性相反，外磁极磁铁和内磁极磁铁构成闭合环，此闭合环形成等离子体轨道，所述等离子体轨道中心线的长度L分布随靶材中心距离(x)的变化为L＝axn，其中a是任意常数，n是变量，所述n值由公式拟合计算获得，本发明能够保证沉积薄膜厚度的均匀性，同时提高靶材腐蚀率并使等离子体环中心线较短。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114218625 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111438395.X (22)申请日 2021.11.30 (71)申请人浙江艾微普科技有限公司