柔性铰链组件及基板抬升机构.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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柔性铰链组件及基板抬升机构.pdf

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本发明提供了一种柔性铰链组件及基板抬升机构，该柔性铰链组件包括：第一柔性铰链，第二柔性铰链，以及柔性连接第一柔性铰链与第二柔性铰链的柔性连杆机构，第一柔性铰链的自由端与第二柔性铰链的自由端均用于被固定；柔性连杆机构包括至少三个首尾柔性连接的连杆，位于内侧的一所述连杆包括用于承载基板的第一承载面，当第一柔性铰链连接柔性连杆机构的第一端部受到水平推力使第一端部产生水平位移时，位于内侧的一连杆转动，并至少沿竖直方向产生位移以抬升所述基板。通过本发明，可提高对基板执行抬升过程中所施加力的准确性，以将基板

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114212524 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111599482.3 (22)申请日 2021.12.24 (71)申请人上海精测半导体技术有限公司