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2023-05-04 发布于北京
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本发明提供一种透镜系统，涉及光学测量仪器技术领域。该透镜系统设置于椭偏仪上，包括：会聚镜组和恢复镜组，其中，椭偏仪具有发射测量臂和接收测量臂，会聚镜组设置于发射测量臂的输出光路上，恢复镜组设置于接收测量臂的输入光路上；发射测量臂用于产生入射平行光束，会聚镜组用于将入射平行光束会聚，会聚后的光束经过被测样品反射后形成发散光束，恢复镜组用于将发散光束恢复为出射平行光束，接收测量臂用于接收出射平行光束。本发明可在300nm～700nm光谱范围内、在±1.8度视场范围内，将椭偏仪测量光束的直径减小到0.

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114217451 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111514959.3 (22)申请日 2021.12.10 (71)申请人中国科学院光电技术研究所