一种薄膜体声波谐振器及其制造方法和滤波器.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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一种薄膜体声波谐振器及其制造方法和滤波器.pdf

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本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法和滤波器，其中声波谐振器包括：压电叠层结构，所述压电叠层结构包括从下至上依次叠置的第一电极、压电层和第二电极；所述第一电极和所述第二电极至少其中之一包括向远离所述压电层表面方向凸起的环形拱形桥，所述拱形桥的内表面围成环形空隙，所述环形空隙围成的区域为所述谐振器的有效谐振区。本发明用拱形桥所在的区域界定有效谐振区的边界，并使有效谐振区边界处的第一电极和/或第二电极的端部与空隙的气体接触，从而达到消除有效谐振区的电极的边界杂波的效果，进而提升谐振器的Q值。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114257197 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202010995812.X H03H 9/205 (2006.01)