一种凹非球面镜的改进补偿检测系统及其检测方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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一种凹非球面镜的改进补偿检测系统及其检测方法.pdf

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本发明公开了一种凹非球面镜的改进补偿检测系统，包括干涉仪、补偿镜一和补偿镜二，补偿镜一的前表面中心区域为前表面中心区，前表面中心区外的环形区域为前表面环形区，补偿镜一的后表面中心区域为后表面中心区，后表面中心区外的环形区域为后表面环形区，前表面中心区、后表面环形区均镀有增透膜，后表面中心区、前表面环形区均镀有反射膜；干涉仪发出的球面波经补偿镜一、补偿镜二折射到待检测非球面镜上，最后经反射后沿原路返回至干涉仪上。本发明还公开了一种凹非球面镜的改进补偿检测系统的检测方法。本发明的凹非球面镜的改进补偿

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114216657 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111526150.2 (22)申请日 2021.12.14 (71)申请人合肥工业大学地址