晶片外观检查装置和方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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晶片外观检查装置和方法.pdf

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提供晶片外观检查装置和方法，即使是在晶片上遍及检查区域和非检查区域而形成的不完整芯片，也能够针对晶片的检查区域进行与完整芯片对应的检查，针对晶片的检查区域整体得到所期望的检查结果。具体而言，在拍摄在晶片上形成的器件芯片的重复外观图案的检查对象部位并与基准图像进行比较从而进行该器件芯片的检查的晶片外观检查装置和方法中，针对拍摄遍及检查区域和非检查区域而形成的不完整芯片得到的图像，基于拍摄了该图像的晶片上的位置信息和芯片布局，进行将构成该图像的像素中的与非检查区域相应的像素的亮度值置换为基准图像的亮

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114222913 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202080057392.9 (74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限