一种用于诊断等离子体参数的系统及方法.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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一种用于诊断等离子体参数的系统及方法.pdf

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本发明提供了一种用于诊断等离子体参数的系统及方法，涉及等离子体技术领域。本发明的用于诊断等离子体参数的系统，包括：真空电极、数据处理装置、数据收集装置、气体环境维持装置、朗缪尔探针、辉光放电管；辉光放电管内设置有真空电极；气体环境维持装置与辉光放电管连接，适于提供辉光放电所需气体环境；朗缪尔探针通过数据收集装置连接于数据处理装置；数据收集装置适于采集电压与气压数据；数据处理装置适于通过电压与气压诊断等离子体参数。本技术方案通过朗缪尔探针提供的电压以及气体环境维持装置提供的气压诊断等离子体参数，可

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114222414 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111337606.0 (22)申请日 2021.11.09 (71)申请人中国人民解放军军事科学院国防工