废气处理装置的控制方法及废气处理装置.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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废气处理装置的控制方法及废气处理装置.pdf

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本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种废气处理装置的控制方法及废气处理装置，废气处理装置的控制方法包括：获取通入反应腔的废气类型；根据废气类型获取设定温度；根据设定温度调节反应腔的加热温度。本发明根据不同类型废气处理所需要的反应温度不同，传送不同的信号至废气处理装置，控制反应腔的加热温度的高低，即控制为反应腔提供加热温度的燃料CH4，CDA，O2等能源用量，实现能源利用的最大化，减少能源浪费，以此实现对能源用量进行控制保证节能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114216130 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111454387.4 (22)申请日 2021.12.01 (71)申请人北京京仪自动化装备技术股份有限