一种三轴磁传感器及其制备工艺.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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一种三轴磁传感器及其制备工艺.pdf

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本发明揭示了一种三轴磁传感器及其制备工艺，所述三轴磁传感器包括第一磁感测机构、第二磁感测机构及第三磁感测机构；第一磁感测机构用以感测第一方向的磁场；第一磁感测机构包括至少一根第一磁阻条；第二磁感测机构用以感测第二方向的磁场；第二磁感测机构包括至少一根第二磁阻条；第三磁感测机构用以感测第三方向的磁场；所述第三磁感测机构包括至少两根第三磁阻条，各第三磁阻条设置于对应沟槽的侧壁；所述三轴磁传感器的各沟槽中，存在相邻两个沟槽之间设有第一磁阻条或/和第二磁阻条的两个沟槽，使得第三磁阻条与第一磁阻条或/和第

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114220913 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111459362.3 G01R 33/10 (2006.01) (22)申请日 2