带自对准隔离部的纳米线/片器件及制造方法及电子设备.pdfVIP

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2023-05-04 发布于北京
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带自对准隔离部的纳米线/片器件及制造方法及电子设备.pdf

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公开了一种纳米线/片器件及其制造方法及包括这种纳米线/片器件的电子设备。根据实施例，纳米线/片器件可以包括：衬底；与衬底的表面间隔开且沿第一方向延伸的纳米线/片；位于纳米线/片在第一方向上的相对两端且与纳米线/片相接的源/漏层；沿与第一方向相交的第二方向延伸以围绕纳米线/片的栅堆叠；以及设置在栅堆叠的侧壁上的第一侧墙，其中，第一侧墙包括连续延伸的材料层，该连续延伸的材料层具有沿着纳米线/片的表面的第一部分、沿着源/漏层面向栅堆叠的侧壁的第二部分以及沿着栅堆叠面向源/漏层的侧壁的第三部分，第二部分

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114220857 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111521279.4 (22)申请日 2021.12.13 (71)申请人中国科学院微电子研究所