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一种用于微机电谐振式粘度传感器的测量系统及方法.pdfVIP

一种用于微机电谐振式粘度传感器的测量系统及方法.pdf

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    本公开提供了一种用于微机电谐振式粘度传感器的测量系统及方法，该测量系统包括：直流供电模块采用外部24V直流供电，用于为直流脉冲激励信号发生模块和温度采集及数据处理模块供电；直流脉冲激励信号发生模块用于产生脉宽及幅值可调控的直流脉冲激励电压信号VD，并输送至微机械谐振粘度传感器敏感结构；微机械谐振粘度传感器敏感结构用于在直流脉冲激励电压信号VD的驱动下产生敏感电流传感信号，并输送至温度采集及数据处理模块；温度采集及数据处理模块用于对敏感电流传感信号进行数据预处理及解析，得到被测流体粘度密度参数。利

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114279895 A (43)申请公布日 2022.04.05 (21)申请号 202111608159.8 (22)申请日 2021.12.24 (71)申请人 机械工业仪器仪表综合技术经济研

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