激光退火窗装置及激光退火设备.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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激光退火窗装置及激光退火设备.pdf

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本公开一些实施例提供了一种激光退火窗装置及激光退火设备，涉及显示技术领域，用于改善激光退火工艺的工艺质量，以及提高激光退火窗装置的使用寿命。所述激光退火窗装置包括壳体、光学镜组和至少一个驱动结构。壳体围成容纳腔。光学镜头设置于容纳腔内；光学镜头沿第二方向延伸，光学镜头沿第三方向的尺寸小于容纳腔沿第三方向的尺寸。第一方向垂直于参考面；第二方向平行于参考面；第三方向平行于参考面，且垂直于第二方向。沿第三方向，驱动结构设置于光学镜头的一侧，被配置为驱动光学镜头在容纳腔内沿第三方向运动。本公开一些实施例

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114334739 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111662295.5 (22)申请日 2021.12.30 (71)申请人京东