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本发明适用于光刻胶技术领域,提供了一种去除2,2,3,3‑四氟丙基甲基丙烯酸酯中有机盐和金属杂质的方法,包括以下步骤:(1)将2,2,3,3‑四氟丙基甲基丙烯酸酯粗品加入反应容器中,加入阻聚剂;(2)温度控制在50‑100℃,真空度控制在200‑2000Pa,根据不同温度出料,将低沸杂质和2,2,3,3‑四氟丙基甲基丙烯酸酯分不同馏分进行接收;(3)将2,2,3,3‑四氟丙基甲基丙烯酸酯馏分通过颗粒过滤器进行过滤;(4)使用纯水对2,2,3,3‑四氟丙基甲基丙烯酸酯进行洗涤;(5)洗涤完成后,将
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114315580 A
(43)申请公布日 2022.04.12
(21)申请号 202111630286.8 C07C 67/54 (2006.01)
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