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本发明属于芯片封装技术领域,具体涉及扇出型封装结构及封装方法。现有的多芯片封装结构仍存在散热效果不理想的情况,本发明提供了一种高散热性能扇出型封装结构及封装方法,通过在晶圆的背面以及重构后的晶圆背面均进行背面金属化,同时在两层金属层之间制造金属通孔,直接连接两层金属层,起到了减小热阻,提升散热效率,明显改善了散热效果,提升了扇出型封装的应用领域,使大功率芯片采用多芯片扇出型晶圆级封装成为可能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114334672 A
(43)申请公布日 2022.04.12
(21)申请号 202210217644.0
(22)申请日 2022.03.08
(71)申请人 上海泰矽微电子有限公司
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