一种超高真空系统及其可控温真空方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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本发明公开了一种超高真空系统及其可控温真空方法，包括底板，所述底板的顶部设置有真空腔，所述真空腔的顶部和底部均固定连接有圆板，所述底板的顶部且与位于真空腔的前后侧设置有夹紧加固机构；所述夹紧加固机构中包括开设在底板顶部的滑槽，所述滑槽内壁的前后侧之间转动连接有双向丝杆，本发明涉及超高真空系统技术领域。该超高真空系统及其可控温真空方法，通过夹紧加固机构的设置，实现了对真空腔的快速夹紧固定，避免了抽真空时真空腔震动过大出现移动的情况，提升了抽真空的效率，另外通过两个弧形夹板的设置，实现了隔热保护的作

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114321590 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111589800.8 (22)申请日 2021.12.23 (71)申请人杭州仁牧科技有限公司