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本申请公开了一种防翘曲微显示面板、微显示装置及其制造方法。微显示面板包括:衬底,所述的衬底为无机材料衬底;若干个阵列排布的发光元件;应力释放层,形成于所述的衬底和发光元件表面;若干金属接触电极,与所述的发光元件表面电学互联;金属布线层,形成于所述的应力释放层之上;平坦化层,所述的平坦化层选用无机绝缘材料制作而成;所述的应力释放层位于所述的衬底与所述的平坦化层之间,且该应力释放层选用有机材料制作而成,并能够发生弹性变形。本申请通过优化微显示面板的膜层结构,降低了基板翘曲度,可提高waferto
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114335059 A
(43)申请公布日 2022.04.12
(21)申请号 202111596604.3
(22)申请日 2021.12.24
(71)申请人 季华实验室
地址 5
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