有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共8页，其中可免费阅读7页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种气浮平台动态水平度检测方法，应用于晶圆传输系统，通过matlab分析第一片晶圆与第n+1片晶圆的坐标信息，根据第一片晶圆的位置与气浮平台达到动态稳定后的第n+1片晶圆的位置之间的偏移量α，抽象出几何模型，通过公式计算出气浮平台的在达到动态平衡后的水平度偏差θ。采用本发明的一种气浮平台动态水平度检测方法和晶圆传输系统，通过晶圆位置预对准，并且实时检测晶圆传输到气浮平台上的位置，供检测系统实时调整检测模块的位置或进行检测结果校正，提高了检测精度，避免检测误差，提高了工作效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114322853 A
(43)申请公布日 2022.04.12
(21)申请号 202111676800.1
(22)申请日 2021.12.31
(71)申请人 上海果纳半导体技术有限公司
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载；后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新必威体育精装版专利内容，完善相关专利服务，助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意！
文档评论（0）