光斑外接圆测试工装及测试方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于四川
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光斑外接圆测试工装及测试方法.pdf

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本发明涉及光斑测试技术领域，具体而言，涉及一种光斑外接圆测试工装及测试方法。光斑外接圆测试工装包括底座、线性位移台、角度位移台、光束质量分析仪和读数头安装架；线性位移台和读数头安装架均安装于底座，角度位移台安装于线性位移台的移动部，光束质量分析仪安装于角度位移台的旋转部，读数头安装架用于安装读数头，光束质量分析仪的接收面与读数头的发光端相对设置；移动部至少能够沿Y轴移动，旋转部能够绕X轴和Y轴转动，X轴与读数头俯仰运动的轴线平行，Y轴垂直于光束质量分析仪的接收面。测试方法应用于上述光斑外接圆测试

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114322804 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111677478.4 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人北京华卓精科科技股份有限公司