一种硅料处理装置、硅棒生产设备和硅料处理方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种硅料处理装置、硅棒生产设备和硅料处理方法.pdf

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本发明提供一种硅料处理装置、硅棒生产设备和硅料处理方法。硅料处理装置包括：进料组件，用于传输硅料，所述进料组件包括沿传输方向依次设置的上料区、扫描区和装料区，其中，待传输的硅料在所述上料区添加至所述进料组件；扫描组件，对应所述扫描区设置，所述扫描组件用于采集位于所述扫描区的硅料的硅料信息，所述硅料信息包括硅料的形状特征和尺寸特征中的一项或多项；控制器，与所述扫描组件连接，所述控制器用于根据所述硅料信息生成装料策略；装料组件，对应所述装料区设置，所述装料组件用于根据所述装料策略将位于所述装料区的硅

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114318509 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111622589.5 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人西安