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本发明公开了一种低压高效率氮化镓功率器件及其制作方法,方法包括:获取外延基片;对外延基片进行电隔离;在帽层上光刻出源、漏电极区域,利用二次外延技术和图形化刻蚀技术在源、漏电极区域生长欧姆金属形成源电极、漏电极;在源电极、漏电极和帽层上生长钝化层;在钝化层上光刻出凹槽区域,刻蚀凹槽区域内的钝化层直至预设位置形成凹槽;在凹槽内生长栅介质层;在钝化层上和凹槽上方光刻出栅电极区域,在栅电极区域内的钝化层上和凹槽内的栅介质层上生长栅金属形成T型栅电极;刻蚀源电极、漏电极上的钝化层直至源电极、漏电极,分别在
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114361034 A
(43)申请公布日 2022.04.15
(21)申请号 202111407815.8
(22)申请日 2021.11.24
(71)申请人 西安
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