- 1、本文档共20页,其中可免费阅读19页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明实施例提供了一种半导体热处理设备的补偿参数获取方法和设备,应用于半导体装备技术领域,该方法包括:确定目标参考温度,通过与目标参考温度对应的历史温度补偿参数对第一温度传感器采集到的温度值进行补偿,持续通过补偿后的温度值和第二温度传感器采集到的温度值进行恒温控制,在温控区域内的温度达到稳定条件的情况下,将相邻的两个温度传感器采集的温度值之间的温度差值作为与目标参考温度对应的目标温度补偿参数更新到补偿参数配置表中。在获取温度补偿参数的过程中,采用历史温度补偿参数持续对温控区域进行恒温控制,可以避
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114355998 A
(43)申请公布日 2022.04.15
(21)申请号 202111556690.5
(22)申请日 2021.12.17
(71)申请人 西安北方华创微电子装备有限公司
您可能关注的文档
- 一种用于车载淋浴间防水排水系统.pdf
- 一种园林绿化用多角度滴灌装置.pdf
- 一种用于现调饮品的无人售卖机.pdf
- 一种电脑刺绣机减速装置定位件.pdf
- 电化学装置及电子设备.pdf
- 界面处理方法、装置、设备和存储介质.pdf
- 一种锅炉除氧器余热回收系统及方法.pdf
- 一种基于多维属性信任评估的信任方法.pdf
- 一种电力物联网环境下的数据源头可信认证方法.pdf
- 基于大数据、人工智能技术的监狱司法公正风险防控方法.pdf
- GB/T 32151.38-2024温室气体排放核算与报告要求 第38 部分:水泥制品生产企业.pdf
- 中国国家标准 GB/T 32151.38-2024温室气体排放核算与报告要求 第38 部分:水泥制品生产企业.pdf
- 《GB/T 22069-2024燃气发动机驱动空调(热泵)机组》.pdf
- GB/T 22069-2024燃气发动机驱动空调(热泵)机组.pdf
- 中国国家标准 GB/T 22069-2024燃气发动机驱动空调(热泵)机组.pdf
- 中国国家标准 GB/T 11064.1-2024碳酸锂、单水氢氧化锂、氯化锂化学分析方法 第1部分: 碳酸锂含量的测定 滴定法.pdf
- GB/T 11064.1-2024碳酸锂、单水氢氧化锂、氯化锂化学分析方法 第1部分: 碳酸锂含量的测定 滴定法.pdf
- 《GB/T 11064.1-2024碳酸锂、单水氢氧化锂、氯化锂化学分析方法 第1部分: 碳酸锂含量的测定 滴定法》.pdf
- GB/T 1148-2024内燃机 铝活塞.pdf
- 中国国家标准 GB/T 1148-2024内燃机 铝活塞.pdf
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新必威体育精装版专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)