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本申请提供一种芯片功率测试装置，包括：第一平台、模拟激光机构、第一测试机构和控制器，模拟激光机构和第一测试机构设置于第一平台上的模拟激光机构，第一测试机构包括积分球、第二直线模组和第二滑动部，积分球位于模拟激光机构一侧，第一直线模组安装于第一平台上，积分球通过第二滑动部滑动安装于第二直线模组上，第二直线模组用于驱动积分球向靠近或远离工作台一侧移动，积分球用于检测待测试芯片在不同强度电流作用的第一光强度信号；模拟激光机构、第一测试机构分别与控制器连接，控制器用于：根据裸测功率判断待测试芯片是否合格
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114325338 A
(43)申请公布日 2022.04.12
(21)申请号 202111669717.1
(22)申请日 2021.12.31
(71)申请人 武汉锐科光纤激光技术股份有限公
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