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本公开提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;第一电极,其中,在所述基板与所述第一电极之间形成腔;压电层,设置在所述第一电极上并且与所述第一电极的至少一部分叠置;第二电极,设置在所述压电层上并且与所述压电层的至少一部分叠置;钝化层,具有设置在所述第二电极上的至少一部分,并且与所述第二电极的至少一部分叠置;以及下框架,与所述基板间隔开,并且所述腔的一部分设置在所述下框架与所述基板之间。所述第二电极和所述钝化层中的任一个包括具有第一厚度的突出部和具有比第一厚度小的第二厚度的延伸部,并且所述
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114362708 A
(43)申请公布日 2022.04.15
(21)申请号 202110848246.4
(22)申请日 2021.07.27
(30)优先权数据
10-2020-0
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