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本发明提供了一种子母嵌套式托盘，包括作为框架的母托盘以及若干个与母托盘相配合的子托盘；所述母托盘与所述子托盘采用嵌套式结构，所述母托盘的表面开设有若干贯穿式的镂空槽，所述镂空槽用于承载子托盘，所述镂空槽与所述子托盘之间形成对待处理镀膜部件起到配合限位作用的限位结构，所述母托盘与所述子托盘对待处理镀膜部件形成上下两面边缘处的遮挡以及侧部的遮挡。通过本发明的公开，子托盘质量轻，便于自动化生产的实施；发生形变，只需要更换变形的小托盘即可，方便灵活；子托盘尺寸小，发生形变后易于修复，由于采用嵌套式结构，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114334753 A
(43)申请公布日 2022.04.12
(21)申请号 202111648890.3
(22)申请日 2021.12.29
(71)申请人 苏州昶明微电子科技合伙企业（有
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