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本发明涉及二极管装置及形成二极管装置的方法,可提供一种二极管装置,包括半导体衬底,该半导体衬底包括设置在其中的阱区,设置在阱区内的第一掺杂区和第二掺杂区,设置在第一掺杂区内的第一接触区,以及设置在第一掺杂区内的隔离结构,其中氧化层可内衬于隔离结构的表面。第一掺杂区和第一接触区可具有第一导电类型,并且阱区和第二掺杂区可具有和第一导电类型不同的第二导电类型。第一接触区的掺杂浓度可高于第一掺杂区的掺杂浓度,并且第一掺杂区的一部分可设置在第一接触区及阱区之间。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114361284 A
(43)申请公布日 2022.04.15
(21)申请号 202111073955.6
(22)申请日 2021.09.14
(30)优先权数据
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