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本发明提供基于自校准的多端口S参数去嵌方法、装置及电子设备,包括:对探针尖端面的S参数进行在片校准并测量得到多端口的S参数矩阵;测量负载标准件的直流电阻;获取预设去嵌结构的S参数;根据去嵌结构的S参数和直流电阻得到待去嵌转接引线及焊盘的两端口S参数;将多端口的S参数矩阵处理得到校准的两端口S参数;基于校准的两端口S参数和待去嵌转接引线及焊盘的两端口S参数得到待测器件的两端口S参数,并对所有待测器件的两端口S参数进行处理得到待测器件的多端口S参数。本发明无需知道去嵌结构的模型参数,有效减少去嵌过程
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114325201 A
(43)申请公布日 2022.04.12
(21)申请号 202210019991.2
(22)申请日 2022.01.10
(71)申请人 浙江铖昌科技股份有限公司
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