一种碱金属原子气室制备方法及原子气室.pdfVIP

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2023-05-06 发布于四川
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一种碱金属原子气室制备方法及原子气室.pdf

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本发明公开了一种碱金属原子气室制备方法及原子气室，本发明制备工艺采用单晶硅板开孔、单元切割、玻璃片阳极键合封闭，可大大提高了原子气室制造效率和制造精度、降低成本，本发明采用单晶硅材料制备碱金属原子气室，单晶硅材料具有良好的导热性，工作运行仅需较小的加热功率，其应用于磁力仪、原子钟、原子陀螺仪移动设备中能大幅度降低装置能耗，同时降低重量和体积，在单晶硅材料通过高速铣削工艺开设的通孔构成原子气体腔室，制造精度高、制造效率高、尺寸小、成本低，适于工业规模化生产，原子气室结构紧凑，可实现轻量化、小型化，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114326357 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202210051435.3 (22)申请日 2022.01.18 (71)申请人付涛地址 8100