长晶炉进气结构及长晶炉.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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长晶炉进气结构及长晶炉.pdf

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本发明涉及晶体生长设备领域，公开了一种长晶炉进气结构及长晶炉，所述长晶炉进气结构包括炉体和端盖，炉体设有具有开口的反应腔体，端盖用于封闭开口，端盖设有测温通道，测温通道的一端与反应腔体连通，另一端设有测温窗，测温通道的通道壁设有用于向测温通道内部通入吹扫气的第二进气口。通过上述技术方案，在端盖的测温通道设置用于向测温通道内部通入吹扫气的第二进气口，第二进气口的进气从测温通道进入反应腔体，在流动过程中能够将已经进入测温通道的挥发物吹回至反应腔体内，并同时能够阻挡反应腔体内的挥发物进入测温通道，从而

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114318516 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111599386.9 (22)申请日 2021.12.24 (71)申请人国宏