一种SPM动态自调整滑动窗口采样的扫描测量方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种SPM动态自调整滑动窗口采样的扫描测量方法.pdf

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本发明公开了一种SPM动态自调整滑动窗口采样的扫描测量方法，其步骤包括：1初始化滑动窗口采样方法的扫描参数，2计算滑动窗口内的数据方差，3根据前一步的计算结果进行扫描参数的动态自调整，4根据调整后的参数扫描下一个点，5滑动窗口，6完成一行扫描，7按照上述扫描方式完成整体扫描。本发明能实现SPM等间距逐行逐点扫描速度的提高，同时通过动态自调整步进值和速度实现测量点合理分布的目的，从而提高了扫描图像的质量，对扫描探针显微镜的技术具有一定的理论意义和实用价值。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114324982 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111622570.0 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人合肥工业大学地址