一种硅晶片全自动清洗甩干设备.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种硅晶片全自动清洗甩干设备.pdf

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本发明公开了一种硅晶片全自动清洗甩干设备，涉及硅晶片生产领域。包括清洗箱，所述清洗箱的内部开设有多组清洗仓，每组清洗仓的内部皆安装有喷水机构，所述清洗箱的上方连接有滑轨，所述滑轨的下方设置移动机构，所述移动机构的底端吊接有吊篮。本发明通过设置的吊篮、电机以及安装柱，在对吊篮内的硅晶片进行清洗完毕后，通过移动机构将吊篮移动到安装柱附近，使吊篮通过固定杆与安装柱卡合，启动电机，电机通过安装柱带动吊篮转动，吊篮内的水分在离心力的作用下通过排水斜口排出，且在吊篮转动时，吊篮通过两侧开设的第一进气口与第二

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114334732 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111626581.6 (22)申请日 2021.12.29 (71)申请人王鹏地址 4501