阵列基板、阵列基板的制造方法及显示面板.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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阵列基板、阵列基板的制造方法及显示面板.pdf

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本申请公开一种阵列基板、阵列基板的制造方法及显示面板，其中阵列基板的制造方法包括：提供一基板，并在所述基板上制作形成栅电极；在所述栅电极上制作形成第一绝缘层；在所述第一绝缘层上制作形成导电沟道、透明电极、源极和漏极；其中，所述导电沟道和所述透明电极由透明的金属氧化物半导体层在同一层中经一次光刻图案化制作形成。本申请通过将导电沟道和透明电极设在同一层上，导电沟道和透明电极由透明的金属氧化物半导体层在同一层中经一次光刻图案化制作形成，从而减少了制作阵列基板时光罩的使用数量，降低了制作成本，提高了生产

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114334813 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111633334.9 (22)申请日 2021.12.29 (71)申请人深圳市华星光电半导体显示技术有