缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.12万字
约 18页
2023-05-06 发布于北京
举报
版权申诉

缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质.pdf

1、本文档共18页，其中可免费阅读17页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请公开了缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质，缺陷检测设备获取待测件的检测图像；确定检测图像的待测区域；对待测区域进行二值化处理，获取二值图像；确定二值图像中边缘区域，边缘区域包括多个待测区域的白色像素点；沿第一方向或沿第二方向对边缘区域的待测像素点进行检测；确定边缘区域上每一列或每一行的特征点，当特征点的数量大于或等于预设数量时，确定特征点为待测件的缺陷。通过确定晶圆上待测区域的边缘区域，并确定边缘区域上的特征点，再根据特征点确定待测件的缺陷，能够准确的通过特征点的位置确定待测件上

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114332012 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111635507.0 (22)申请日 2021.12.29 (71)申请人深圳中科飞测科技股份有限公司