一种基于相变材料的2×2光波导开关及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种基于相变材料的2×2光波导开关及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种基于相变材料的2×2光波导开关及其制备方法。在衬底上设置2×2光开关单元波导结构，两根波导呈轴对称分布，包括两个输入端口和两个输出端口、中间为耦合区域；在耦合区域采用脉冲激光沉积方法制备得到与靶材组分一致的均匀百纳米级的Ge2Sb2Se4Te1薄膜。开关单元由覆盖在耦合区域波导之上的相变材料控制，通过切换相变材料的相态可对横电基模完成双通道选择输入和双路选通、模式切换的功能，对横磁基模则满足同侧端口输入同侧端口输出的功能，具有高消光比、尺寸小、切换速率快的特点。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114326164 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111573963.7 (22)申请日 2021.12.21 (71)申请人苏州大学地址 21