具有空腔结构的压电多层材料及其制备方法与应用.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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具有空腔结构的压电多层材料及其制备方法与应用.pdf

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本发明公开了一种具有空腔结构的压电多层材料及其制备方法与应用。所述压电多层材料包括基底和压电薄膜，所述基底上设有空腔和流道，所述空腔与流道连通，所述压电多层材料表面设有与所述流道连通的开口，所述压电薄膜覆盖在所述空腔和流道上。本发明通过在将基底与压电薄膜键合之前获得空腔结构，无需对压电薄膜进行开孔和牺牲层释放，避免了腐蚀气体对功能区的破坏，并通过流道使空腔连通便于后续气体的排出，有利于提高压电多层材料的结构稳定性及提升其工作性能，有望实现5G通信声学器件，例如兰姆波器件、体声波器件、声表面波器件

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114337578 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111647254.9 (22)申请日 2021.12.29 (71)申请人苏州达波新材科技有限公司