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一种可升降的载物台，包括机架，载片台（20），顶针组件，升降机构，以及驱动组件；其特征在于，驱动组件可通过升降机构驱动载片台（20）升降，从而使得顶针组件中的顶针（12）的顶部处于突出于载片台（20）的上表面一定距离、与载片台（20）的上表面齐平、或者低于载片台（20）上表面一定距离的位置，当顶针（12）的顶部处于突出于载片台（20）的上表面一定距离的位置时，可实现外延片的自动取放；当顶针（12）的顶部处于与载片台（20）的上表面齐平、或者低于该上表面一定距离的位置时，可实现外延片的吸附固定、以
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114324341 A
(43)申请公布日 2022.04.12
(21)申请号 202210144979.4
(22)申请日 2022.02.18
(71)申请人 北京中拓光电科技有限公司
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