微显示装置的制造方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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微显示装置的制造方法.pdf

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本申请提供一种微显示装置的制造方法，是通过在一对待键合的晶圆上分别制备正向或负向立体结构，利用对准及压力的作用下将二者进行预键合，预键合过程在常温下进行，因此无温度影响，即使是一对异质晶圆键合，也不会因热膨胀系数不同而产生位移，在预键合后的利用激光将LED的蓝宝石衬底剥离，最后采用加热炉加热键合，将金属插头和金属垫键合。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114335058 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111596554.9 (22)申请日 2021.12.24 (71)申请人季华实验室地址 5