一种用于切割硅棒的装置.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种用于切割硅棒的装置.pdf

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本发明实施例公开了一种用于切割硅棒的装置，所述装置包括：用于对硅棒进行切割的切割线；用于对所述硅棒进行加热的加热器；控制器，所述控制器用于对所述加热器进行控制，使得所述硅棒在达到第一切割进程时的第一温度与所述硅棒在达到第二切割进程时的第二温度之间的差值不超过预定阈值。根据本发明的实施例，控制器根据切割操作的不同进程中硅棒以及从硅棒上切割下的硅片受到切割线的不同热传导情况来控制加热器对硅棒进行加热，以对硅棒的温度进行补偿，使得对于不同的切割进程硅棒和硅片的温度变化量被控制成不超过预定阈值范围，由此

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114311354 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111640959.8 (22)申请日 2021.12.29 (71)申请人西安奕斯伟材料科技有限公司