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本发明公开了一种红外快速退火炉,包括炉体,其内设有上、下两排红外灯管,相邻红外灯管之间均设有红外隔热挡片,阻隔红外光透过。本发明通过利用红外隔热挡片将各相邻红外灯管隔开,红外隔热片耐高温,且不利于红外光透过,以此减弱边缘灯管向中心位置辐射热量,将单根红外灯管隔离为单独辐射热源,较大减少红外波透过,可以有效缓解硅片加热过程中的边缘场效应,保持硅片具有良好的温度均匀性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114318547 A
(43)申请公布日 2022.04.12
(21)申请号 202111595920.9 H01L 21/324 (2006.01)
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