一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种用于晶圆装载机的晶圆传送盒解锁开门的系统.pdf

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本发明公开了一种用于晶圆装载机的晶圆装载盒解锁开门的系统，包括晶圆装载机的机架，在机架上开设交接口，且设置开门装置，开门装置包括取放组件、解锁组件和交接板，取放组件与交接板固定连接，交接板与交接口对应设置，同时交接板与晶圆装载盒的密封门对接，在交接板上设置解锁组件，通过解锁组件将晶圆装载盒的密封门与盒体解锁，取放组件通过驱动交接板与交接口的开合，进而实现通过交接口取放晶圆装载盒的密封门。通过取放组件和解锁组件的结合，限定开门装置的运动路线，减少运动自由度，将需要三个驱动件完成的功能缩减为两个，简

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114334754 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111676813.9 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人上海果纳半导体技术有限公司